法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-06-20
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/283 公开日:20100505 申请日:20091119
发明专利申请公布后的视为撤回
2011-02-02
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/283 申请日:20091119
实质审查的生效
2010-05-05
公开
公开
机译: 可在柔性聚合物基材上制备金属氧化物薄膜的金属氧化物薄膜的生产方法
机译: 在硅和二氧化硅衬底上制备超导氧化物薄膜
机译: 一种在硅衬底上的绝缘子区域上制造硅的方法以及在硅衬底上的绝缘子上制造硅的方法