一种用于测量低密度冷等离子体的球形朗缪尔探针装置

摘要

本发明公开了一种用于测量低密度冷等离子体的球形朗缪尔探针装置，用于测量密度为105cm-3-108cm-3、电子能量在0.5eV-5eV的低密度冷等离子体。包括空心镀金钛金属球形郎缪尔探针、空心柱状钛金属支架、朗谬尔探针电连接点以及郎缪尔探针陶瓷绝缘底座。所述空心镀金钛金属球形郎缪尔探针球外直径不小于56mm，壳层厚度为0.5mm-2mm；探针外表面采用镀金处理，镀金厚度为10nm-50nm。本发明有效提高了等离子体电荷收集，减轻了质量，表面镀金能够起到抗氧化作用。本发明适用于空间在轨低密度冷等离子体参数测量，提高了测量的可靠性及稳定性。