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微波等离子体的朗缪尔探针测量

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摘要

随着微波等离子体的应用越来越广泛,其参数的测量研究也逐渐得到人们的重视.本文使用朗缪尔探针测量了微波等离子体的单探针I-V特性,并根据探针测量原理计算出等离子体空间电位、电子温度,电子密度和离子密度等参数.

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来源
《佳木斯大学学报：自然科学版》 |2010年第4期|521-523|共3页
作者
张宝芳;
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作者单位

江苏科技大学张家港校区信息学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类等离子体器件;
关键词
微波等离子体; 朗缪尔探针; 测量;

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