一种Li掺杂的P－型氧化锌薄膜的制备方法

摘要

本发明涉及一种Li掺杂的P－型氧化锌薄膜的制备方法，属半导体电功能薄膜制备工艺技术领域。本发明方法采用溶胶－凝胶法制备Li掺杂的P－型ZnO透明导电薄膜。本发明方法主要是采用含钾的有机化合物和含锌的有机化合物作为前驱体，以有机溶液作为溶剂，在一定温度下搅拌反应，生成胶体，然后使用旋涂法在石英衬底上制备ZnO薄膜，并在一定温度下进行预热处理，最后通过高温退火处理，排除薄膜内的氢原子，获得稳定透明的P－型ZnO导电薄膜。