感光耐蚀膜供应装置及感光耐蚀膜供应方法

摘要

提供的是一种感光耐蚀膜供应装置。该感光耐蚀膜供应装置包括排放喷嘴、计量泵、捕集箱、瓶和第一排放管线。该排放喷嘴排放感光耐蚀膜到胶片上。该计量泵供应固定量的感光耐蚀膜到该排放喷嘴内。该捕集箱临时存储将被从该计量泵供应到该排放喷嘴内的感光耐蚀膜。该瓶容纳存储在该捕集箱内的感光耐蚀膜。气泡检测单元确定在将被从该泵供应到该排放喷嘴内的待处理的感光耐蚀膜中是否存在气泡。该第一排放管线将该泵连接到废弃流体箱以用于当气泡检测单元检测到气泡时从该泵排放该待处理的感光耐蚀膜到该废弃流体箱。