一种利用少量惰性气体提高等离子体二氧化硫脱除效率的方法

摘要

本发明公开了一种利用少量惰性气体添加气来提高等离子体二氧化硫脱除效率的方法，它是将惰性气体添加进含有二氧化硫的混合气体，形成含有体积浓度为0.1％～8％的惰性气体的新混合气体，然后使其通过高频高压电场，从而完成二氧化硫的高效率脱除。本发明中采用的惰性气体是氦、氖、氩、氪、氙中任一种气体或者若干种气体的组合。由于本发明在含有二氧化硫的混合气体中添加了少量惰性气体，因此当混合气体发生电离形成等离子体时，其中的电子密度会因为惰性气体的加入而明显增大，这就使得电子碰撞激发背景气体分子的概率增大，从而会产生更多的氧化性自由基，最终导致了二氧化硫脱除效率的增加。