首页> 中国专利> 形成铁电体膜的方法、铁电体膜、铁电体器件和液体排出装置

形成铁电体膜的方法、铁电体膜、铁电体器件和液体排出装置

页面导航

摘要

本发明涉及形成铁电体膜的方法、铁电体膜、铁电体器件和液体排出装置。为了能够在A位掺杂至少5摩尔％的给体离子，在满足式(1)和(2)，或式(3)和(4)的条件下，通过溅射技术在面对具有预定组成的靶(T)的基板(20，B)上形成含有式(P)：(Pb

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2011-09-21

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C14/08 公开日:20100310 申请日:20080903

发明专利申请公布后的视为撤回
2010-04-28

实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/08 申请日:20080903

实质审查的生效
2010-03-10

公开

公开

1. 形成铁电体膜的方法、铁电体膜、铁电体器件和液体排出装置 [P] . 中国专利： CN101665908A . 2010-03-10
2. 形成铁电体膜的方法、铁电体膜、铁电体器件和液体排出装置 [P] . 中国专利： CN101381858A . 2009-03-11
3. Process for forming a ferroelectric film, ferroelectric film, ferroelectric device, and liquid discharge apparatus [P] . 美国专利： US7923906B2 . 2011-04-12

机译：铁电体膜的形成方法，铁电体膜，铁电体及排液装置
4. Process for forming a ferroelectric film, ferroelectric film, ferroelectric device, and liquid discharge apparatus [P] . 欧洲知识产权局专利： EP2034042A3 . 2009-11-11

机译：铁电体膜的形成方法，铁电体膜，铁电体及排液装置
5. Process for forming a ferroelectric film, ferroelectric film, ferroelectric device, and liquid discharge apparatus [P] . 欧洲知识产权局专利： EP2034041A3 . 2009-11-25

机译：铁电体膜的形成方法，铁电体膜，铁电体及排液装置