公开/公告号CN101652836A
专利类型发明专利
公开/公告日2010-02-17
原文格式PDF
申请/专利权人 东京毅力科创株式会社;
申请/专利号CN200880010346.2
申请日2008-02-14
分类号H01L21/285;H01L21/3205;H01L23/52;C23C16/16;
代理机构北京尚诚知识产权代理有限公司;
代理人龙淳
地址 日本东京都
入库时间 2023-12-17 23:31:30
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-12-11
专利权的视为放弃 IPC(主分类):H01L21/285 放弃生效日:20100217 申请日:20080214
专利权的视为放弃
2010-04-21
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/285 申请日:20080214
实质审查的生效
2010-02-17
公开
公开
机译: 金属膜的成膜方法,多层布线结构的成膜方法,半导体装置的制造方法以及成膜装置
机译: NiSi膜的形成方法,硅化物膜的形成方法,硅化物退火中使用的金属膜的形成方法,真空处理装置及成膜装置
机译: 多层配线结构,埋入配线的形成方法,半导体装置,半导体装置的制造方法,半导体安装装置以及半导体安装装置的制造方法