采用冰模板制作横截面为倒梯形结构微图案的方法

摘要

本发明提供了采用冰模板制作横截面为倒梯形结构微图案的方法。采用软印刷中毛细微模塑的方法，在基底表面制作具有正梯形横截面的冰薄膜微图案。将其浸渍与水不相混溶的聚合物有机溶液，有机溶剂挥发过程中，聚合物有机溶液在冰薄膜微图案表面去润湿，得到与冰薄膜图案互补的聚合物溶液薄膜图案。最后冰熔化成水并挥发，在基底表面留下具有与冰薄膜微图案三维形貌互补的具有倒梯形横截面的聚合物薄膜微图案。本发明的方法使用简单的软印刷和冷冻设备，工艺简单。采用了纯水形成的冰模板作为倒梯形结构的互补结构进行图案传递，对可图案化的介质材料普适性更强，冰模板更容易除去，有效降低对环境的污染。得到了精度为5微米的图案，加工精度较高。