微加速度计可靠性强化试验测试方法

摘要

本发明涉及MEMS类传感器－微加速度计的测试方法，具体是一种微加速度计可靠性强化试验测试方法。能够了解微加速度计在温度、振动和湿度综合应力环境下的失效模式，方便产品研发，改善产品整体性能，步骤如下：1.微加速度计于温度应力下的强化测试步骤；2.微加速度计于温度、振动综合应力下的强化测试步骤；3.微加速度计于温度、振动、湿度综合应力下的强化测试步骤。本发明兼顾温度、振动和湿度三应力对微加速度计内部结构的影响。通过对微加速度计逐步施加温度、振动和湿度三应力，了解与微加速度计功能失效前和失效时对应的三应力情况，以便解决微加速度计的缺陷，提高微加速度计的整体性能、可靠性，利于高可靠性微加速度计新产品开发。

说明书

技术领域

本发明涉及MEMS类传感器-微加速度计的测试方法，具体是一种兼顾温度、振动、湿度三应力的微加速度计可靠性强化试验测试方法。

背景技术

随着社会的进步和国家的发展，国际竞争日趋深化和激烈。市场对产品的要求越来越高，既要求有高的性能，又要求有高的可靠性，也就是说在产品的整个使用过程中，要保证产品在设计寿命期内性能稳定不变。目前，由于MEMS可靠性的复杂程度、特殊性以及研究人员对微器件可靠性的研究不足，使得MEMS器件的可靠性指标缺乏；同时，由于微惯性器件的特殊性，常规的可靠性试验已无法满足其可靠性验证的需求。目前国外在可靠性的研究方面主要采用强化可靠性的试验方法，可靠性强化试验技术的理论依据是故障物理学，它把故障和失效当作主要研究对象，通过对系统人为施加逐渐增大的环境应力和工作应力来主动激发产品故障和暴露产品设计中的薄弱环节，从而达到对产品设计缺陷尽早发现和修正的目的。也就是说，可靠性强化试验不像传统的可靠性试验通过被动的环境模拟再加设计裕度来确保产品通过鉴定试验与验证试验，而是主动地激发缺陷，并且要求激发得越彻底越好。由于可靠性强化试验所施加的环境应力远远超出设计规范极限，因此，可靠性强化试验激发缺陷的效率很高，它能在很短的时间内激发出在正常使用环境下可能导致产品失效的各类缺陷，有效缩短高质量产品的研制周期，大大降低研制成本。

发明内容

本发明为了能够及时了解微加速度计产品在温度、振动和湿度综合应力环境下的失效模式，方便技术人员研制微加速度计产品，改善微加速度计的整体性能，提供了一种兼顾温度、振动、湿度三应力的微加速度计可靠性强化试验测试方法。

本发明是采用如下技术方案实现的：微加速度计可靠性强化试验测试方法，测试步骤如下：

1、微加速度计于温度应力下的强化测试步骤：

a、根据待测微加速度计的使用温度范围(该使用温度范围是生产厂家对微加速度计标定的温度参数范围)，设定增温起测温度、降温起测温度、以及温度变化量ΔT，1℃≤ΔT≤5℃，增温起测温度小于使用温度范围的上限值，降温起测温度大于使用温度范围的下限值；

b、增温强化测试步骤：将待测微加速度计置于高低温试验箱内，并设定箱内为零湿度、无振动状态，使高低温试验箱内测试温度由增温起测温度开始，逐步以温度变化量ΔTmax(即最大温度变化量5℃)向上增温，每增温一次，待高低温试验箱内测试温度稳定后，对箱内微加速度计进行可靠性功能测试；

如微加速度计的功能无异常，则继续增温，并在温度稳定后，再次进行可靠性功能测试；

如微加速度计的功能出现异常，则使高低温试验箱内的测试温度恢复为微加速度计功能出现异常时的前一测试温度，并在温度稳定后，再次对微加速度计进行可靠性功能测试；

如微加速度计的功能恢复，则降低温度变化量ΔT，重新以微加速度计功能出现异常时的前一测试温度起测，以新温度变化量ΔT向上增温，待高低温试验箱内测试温度稳定后，对箱内微加速度计进行可靠性功能测试，直至微加速度计功能出现异常对应的测试温度偏低1℃时，微加速度计功能无异常，则微加速度计功能无异常时对应的测试温度为上工作极限温度，继续进行上述增温强化测试过程，直至获得上破坏极限温度；

如微加速度计的功能无法恢复，则定与微加速度计功能出现异常时对应的测试温度为上破坏极限温度，更换同批同规格待测微加速度计，继续进行上述增温强化测试过程，直至获得上工作极限温度；

c、降温强化测试步骤：与步骤b同理，使高低温试验箱内测试温度由降温起测温度开始，逐步以温度变化量ΔTmax向下降温，每降温一次，待高低温试验箱内测试温度稳定后，对箱内微加速度计进行可靠性功能测试；

如微加速度计的功能无异常，则继续降温，并在温度稳定后，再次进行可靠性功能测试；

如微加速度计的功能出现异常，则使高低温试验箱内的测试温度恢复为微加速度计功能出现异常时的前一测试温度，并在温度稳定后，再次对微加速度计进行可靠性功能测试；

如微加速度计的功能恢复，则降低温度变化量ΔT，重新以微加速度计功能出现异常时的前一测试温度起测，以新温度变化量ΔT向下降温，待高低温试验箱内测试温度稳定后，对箱内微加速度计进行可靠性功能测试，直至微加速度计功能出现异常对应的测试温度偏高1℃时，微加速度计功能无异常，则微加速度计功能无异常时对应的测试温度为下工作极限温度，继续进行上述降温强化测试过程，直至获得下破坏极限温度；

如微加速度计的功能无法恢复，则定与微加速度计功能出现异常时对应的测试温度为下破坏极限温度，更换同批同规格待测微加速度计，继续进行上述降温强化测试过程，直至获得下工作极限温度；

d、微加速度计于工作极限温度下保持时间的强化测试步骤：

d1、设定初始保持时间t＝2min、时间增量Δt＝1min；

d2、使高低温试验箱内的测试温度保持在微加速度计的上工作极限温度，将微加速度计在上工作极限温度下保持时间t后，对微加速度计进行可靠性功能测试；

如微加速度计的功能无异常，则使微加速度计在上工作极限温度下继续保持时间增量Δt后，再次对微加速度计进行可靠性功能测试；

如微加速度计的功能出现异常，则以总累计时间扣减一次时间增量Δt和一次可靠性功能测试耗费时间的时间长度为上极限保持时间；

d3、使高低温试验箱内的测试温度保持在微加速度计的下工作极限温度，将微加速度计在下工作极限温度下保持时间t后，对微加速度计进行可靠性功能测试；

如微加速度计的功能无异常，则使微加速度计在下工作极限温度下继续保持时间增量Δt后，再次对微加速度计进行可靠性功能测试；

如微加速度计的功能出现异常，则以总累计时间扣减一次时间增量Δt和一次可靠性功能测试耗费时间的时间长度为下极限保持时间；

所述总累计时间为初始保持时间t、每次时间增量Δt、每次可靠性功能测试耗费时间的总和；

e、微加速度计于工作极限温度范围内温度变化率的强化测试步骤：

e1、设定初始温度变化率V_T＝10℃/min、温度变化率增量ΔV_T＝10℃；

e2、使高低温试验箱内的测试温度在1分钟内由上工作极限温度以初始温度变化率V_T向下工作极限温度变化(使温度骤升)，或由上工作极限温度以初始温度变化率V_T向下工作极限温度变化(使温度骤降)，对微加速度计进行可靠性功能测试；

如微加速度计的功能无异常，则按温度变化率增量ΔV_T提高温度变化率，重新由上工作极限温度或下工作极限温度开始进行1分钟降温或升温，对微加速度计进行可靠性功能测试；

如微加速度计的功能出现异常，则使高低温试验箱内的温度变化率设定为微加速度计功能出现异常前的测试温度变化率，重新由上工作极限温度或下工作极限温度开始进行1分钟降温或升温，对微加速度计进行可靠性功能测试；

如微加速度计的功能恢复，则将当前温度变化率定为工作极限温度变化率；

如微加速度计的功能无法恢复，则定与微加速度计功能出现异常时对应的温度变化率为破坏极限温度变化率，当前温度变化率为工作极限温度变化率；

2、微加速度计于温度、振动综合应力下的强化测试步骤：

g、根据待测微加速度计适用的加速度范围(该范围是生产厂家对微加速度计标定的加速度参数范围)，设定初始振动加速度a为加速度范围下限值、振动加速度变化率Δa＝5g、及随机振动频率范围f，20Hz≤f≤10kHz，设定增温起测温度、降温起测温度、温度变化量ΔT，且增温起测温度、降温起测温度与步骤1中的设定相同，ΔT＝5℃；

h、微加速度计于增温、变加速度状态下的强化测试步骤：

h1、将待测微加速度计置于高低温试验箱内，并按步骤g设定箱内温度、振动状态参数，使高低温试验箱内测试温度由增温起测温度开始，并对微加速度计施以初始振动加速度a，在测试温度稳定后，对箱内微加速度计进行可靠性功能测试；

如微加速度计的功能无异常，则按振动加速度变化率Δa提高振动加速度，并在振动加速度稳定后，再次进行可靠性功能测试；

如微加速度计的功能出现异常，则使高低温试验箱内对微加速度计施加的振动加速度恢复为微加速度计功能出现异常时的前一振动加速度，并在振动加速度稳定后，再次对微加速度计进行可靠性功能测试；

如微加速度计的功能恢复，则定当前振动加速度为与当前测试温度对应的工作极限振动加速度；

如微加速度计的功能无法恢复，则定与微加速度计功能出现异常时对应的振动加速度为破坏极限振动加速度，当前振动加速度为与当前测试温度对应的工作极限振动加速度，更换同批同规格待测微加速度计，继续进行后续强化测试；

h2、按温度变化量ΔT提高高低温试验箱内测试温度，并在温度稳定后，重新对微加速度计施以初始振动加速度a，对箱内微加速度计进行可靠性功能测试；重复步骤h1的测试过程，获得微加速度计于高低温试验箱内增温状态下各测试温度对应的工作极限振动加速度和破坏极限振动加速度，直至微加速度计在初始振动加速度a时功能也出现异常；

i、微加速度计于降温、变加速度状态下的强化测试步骤：与步骤h同理，

i1、将待测微加速度计置于高低温试验箱内，并按步骤g设定箱内温度、振动状态参数，使高低温试验箱内测试温度由降温起测温度开始，并对微加速度计施以初始振动加速度a，在测试温度稳定后，对箱内微加速度计进行可靠性功能测试；

如微加速度计的功能无异常，则按振动加速度变化率Δa提高振动加速度，并在振动加速度稳定后，再次进行可靠性功能测试；

如微加速度计的功能出现异常，则使高低温试验箱内对微加速度计施加的振动加速度恢复为微加速度计功能出现异常时的前一振动加速度，并在振动加速度稳定后，再次对微加速度计进行可靠性功能测试；

如微加速度计的功能恢复，则定当前振动加速度为与当前测试温度对应的工作极限振动加速度；

如微加速度计的功能无法恢复，则定与微加速度计功能出现异常时对应的振动加速度为破坏极限振动加速度，当前振动加速度为与当前测试温度对应的工作极限振动加速度，更换同批同规格待测微加速度计，继续进行后续强化测试；

i2、按温度变化量ΔT降低高低温试验箱内测试温度，并在温度稳定后，重新对微加速度计施以初始振动加速度a，对箱内微加速度计进行可靠性功能测试；重复步骤i1的测试过程，获得微加速度计于高低温试验箱内降温状态下各测试温度对应的工作极限振动加速度和破坏极限振动加速度，直至微加速度计在初始振动加速度a时功能也出现异常；

3、微加速度计于温度、振动、湿度综合应力下的强化测试步骤：

j、设定增温起测温度、降温起测温度、温度变化量ΔT且增温起测温度、降温起测温度与步骤1中的设定相同，ΔT＝5℃；设定初始振动加速度a、振动加速度变化率Δa、及随机振动频率范围f，初始振动加速度a、随机振动频率范围f与步骤2中的设定相同，Δa＝5g；设定起测湿度RH＝70％，湿度增量ΔRH＝10％；

k、微加速度计于增温、变振动加速度、湿度增加状态下的强化测试步骤：

k1、将待测微加速度计置于高低温试验箱内，并按步骤j设定箱内温度、振动、湿度状态参数，使高低温试验箱内测试温度由增温起测温度开始，对微加速度计施以初始振动加速度a，且使测试湿度由起测湿度开始，在测试温度和测试湿度稳定后，对箱内微加速度计进行可靠性功能测试；

如微加速度计的功能无异常，则按湿度增量ΔRH提高测试湿度，并在测试湿度稳定后，再次进行可靠性功能测试；

如微加速度计的功能出现异常，则使高低温试验箱内测试湿度恢复为微加速度计功能出现异常时的前一测试湿度，并在测试湿度稳定后，再次对微加速度计进行可靠性功能测试；

如微加速度计的功能恢复，则定当前测试湿度为与当前测试温度、振动加速度对应的工作极限测试湿度；

如微加速度计的功能无法恢复，则定与微加速度计功能出现异常时对应的测试湿度为破坏极限测试湿度，当前测试湿度为与当前测试温度、振动加速度对应的工作极限测试湿度，更换同批同规格待测微加速度计，继续进行后续强化测试；

k2、按振动加速度变化率Δa提高振动加速度，重新使高低温试验箱内测试湿度恢复为起测湿度RH，并在振动加速度、测试湿度稳定后，对箱内微加速度计进行可靠性功能测试；重复步骤k1的测试过程，获得当前测试温度下各振动加速度对应的工作极限测试湿度和破坏极限测试湿度，直至微加速度计在起测湿度RH状态下功能也出现异常；

k3、按温度变化量ΔT提高高低温试验箱内测试温度，重新对微加速度计施以初始振动加速度a，并使高低温试验箱内测试湿度恢复为起测湿度RH，在测试温度、振动加速度、测试湿度稳定后，对箱内微加速度计进行可靠性功能测试；重复步骤k1到k2的测试过程，获得微加速度计于高低温试验箱内增温过程中各测试温度与各振动加速度任意组合状态对应的工作极限测试湿度和破坏极限测试湿度，直至微加速度计在起测湿度RH状态下功能也出现异常；

l、微加速度计于降温、变振动加速度、湿度增加状态下的强化测试步骤：与步骤k同理，

l1、将待测微加速度计置于高低温试验箱内，并按步骤j设定箱内温度、振动、湿度状态参数，使高低温试验箱内测试温度由降温起测温度开始，对微加速度计施以初始振动加速度a，且使测试湿度由起测湿度开始，在测试温度和测试湿度稳定后，对箱内微加速度计进行可靠性功能测试；

如微加速度计的功能无异常，则按湿度增量ΔRH提高测试湿度，并在测试湿度稳定后，再次进行可靠性功能测试；

如微加速度计的功能出现异常，则使高低温试验箱内测试湿度恢复为微加速度计功能出现异常时的前一测试湿度，并在测试湿度稳定后，再次对微加速度计进行可靠性功能测试；

如微加速度计的功能恢复，则定当前测试湿度为与当前测试温度、振动加速度对应的工作极限测试湿度；

如微加速度计的功能无法恢复，则定与微加速度计功能出现异常时对应的测试湿度为破坏极限测试湿度，当前测试湿度为与当前测试温度、振动加速度对应的工作极限测试湿度，更换同批同规格待测微加速度计，继续进行后续强化测试；

l2、按振动加速度变化率Δa提高振动加速度，重新使高低温试验箱内测试湿度恢复为起测湿度RH，并在振动加速度、测试湿度稳定后，对箱内微加速度计进行可靠性功能测试；重复步骤l1的测试过程，获得当前测试温度下各振动加速度对应的工作极限测试湿度和破坏极限测试湿度，直至微加速度计在起测湿度RH状态下功能也出现异常；

l3、按温度变化量ΔT降低高低温试验箱内测试温度，重新对微加速度计施以初始振动加速度a，并使高低温试验箱内测试湿度恢复为起测湿度RH，在测试温度、振动加速度、测试湿度稳定后，对箱内微加速度计进行可靠性功能测试；重复步骤l1到l2的测试过程，获得微加速度计于高低温试验箱内降温过程中各测试温度与各振动加速度任意组合状态对应的工作极限测试湿度和破坏极限测试湿度，直至微加速度计在起测湿度RH状态下功能也出现异常。

所述可靠性功能测试是现有测试技术，即背景技术内提到的通过被动环境模拟再加设计裕度来鉴定、验证产品功能的试验。

本发明所述测试方法同时兼顾温度、振动和湿度三应力对微加速度计内部结构的影响：1、温度应力导致微加速度计内部结构由于材料热膨胀系数的差异发生伸缩，微加速度计内部不同材料的结合部位会发生松动，产生缝隙；2、潮气侵入微加速度计内部不同材料结合部位的缝隙间，湿度应力会导致微加速度计内部不同材料的结合部位连接处的摩擦系数降低；3、振动应力在特定频率导致微加速度计发生共振现象。通过对微加速度计逐步施加温度、振动和湿度三应力，检测在不同温度、振动和湿度三应力状况下，微加速度计的功能状况，了解与微加速度计功能失效前和失效时对应的温度、振动和湿度三应力情况(即由本方法获得的各项参数的工作极限和破坏极限)，快速得到所测微加速度在机械特性、电特性、温度特性、振动特性、湿度特性以及功能上的缺陷，以便设计人员对微加速度计的相应缺陷进行解决，提高微加速度计的整体性能、可靠性，利于高可靠性微加速度计新产品开发，缩短开发时间，降低研发成本和售后服务成本。

具体实施方式

微加速度计可靠性强化试验测试方法，测试步骤如下：

1、微加速度计于温度应力下的强化测试步骤：

a、根据待测微加速度计的使用温度范围(该使用温度范围是生产厂家对微加速度计标定的温度参数范围)，设定增温起测温度、降温起测温度、以及温度变化量ΔT，1℃≤ΔT≤5℃，增温起测温度小于使用温度范围的上限值，降温起测温度大于使用温度范围的下限值；

b、增温强化测试步骤：将待测微加速度计置于高低温试验箱内，并设定箱内为零湿度、无振动状态，使高低温试验箱内测试温度由增温起测温度开始，逐步以温度变化量ΔTmax(即5℃)向上增温，每增温一次，待高低温试验箱内测试温度稳定后，对箱内微加速度计进行可靠性功能测试；

如微加速度计的功能无异常，则继续增温，并在温度稳定后，再次进行可靠性功能测试；

如微加速度计的功能出现异常，则使高低温试验箱内的测试温度恢复为微加速度计功能出现异常时的前一测试温度，并在温度稳定后，再次对微加速度计进行可靠性功能测试；

如微加速度计的功能恢复，则降低温度变化量ΔT，重新以微加速度计功能出现异常时的前一测试温度起测，以新温度变化量ΔT向上增温，待高低温试验箱内测试温度稳定后，对箱内微加速度计进行可靠性功能测试，直至微加速度计功能出现异常对应的测试温度偏低1℃时，微加速度计功能无异常，则微加速度计功能无异常时对应的测试温度为上工作极限温度，继续进行上述增温强化测试过程，直至获得上破坏极限温度；

如微加速度计的功能无法恢复，则定与微加速度计功能出现异常时对应的测试温度为上破坏极限温度，更换同批同规格待测微加速度计，继续进行上述增温强化测试过程，直至获得上工作极限温度；

c、降温强化测试步骤：与步骤b同理，使高低温试验箱内测试温度由降温起测温度开始，逐步以温度变化量ΔTmax向下降温，每降温一次，待高低温试验箱内测试温度稳定后，对箱内微加速度计进行可靠性功能测试；

如微加速度计的功能无异常，则继续降温，并在温度稳定后，再次进行可靠性功能测试；

如微加速度计的功能出现异常，则使高低温试验箱内的测试温度恢复为微加速度计功能出现异常时的前一测试温度，并在温度稳定后，再次对微加速度计进行可靠性功能测试；

如微加速度计的功能恢复，则降低温度变化量ΔT，重新以微加速度计功能出现异常时的前一测试温度起测，以新温度变化量ΔT向下降温，待高低温试验箱内测试温度稳定后，对箱内微加速度计进行可靠性功能测试，直至微加速度计功能出现异常对应的测试温度偏高1℃时，微加速度计功能无异常，则微加速度计功能无异常时对应的测试温度为下工作极限温度，继续进行上述降温强化测试过程，直至获得下破坏极限温度；

如微加速度计的功能无法恢复，则定与微加速度计功能出现异常时对应的测试温度为下破坏极限温度，更换同批同规格待测微加速度计，继续进行上述降温强化测试过程，直至获得下工作极限温度；

d、微加速度计于工作极限温度下保持时间的强化测试步骤：

d1、设定初始保持时间t＝2min、时间增量Δt＝1min；

d2、使高低温试验箱内的测试温度保持在微加速度计的上工作极限温度，将微加速度计在上工作极限温度下保持时间t后，对微加速度计进行可靠性功能测试；

如微加速度计的功能无异常，则使微加速度计在上工作极限温度下继续保持时间增量Δt后，再次对微加速度计进行可靠性功能测试；

如微加速度计的功能出现异常，则以总累计时间扣减一次时间增量Δt和一次可靠性功能测试耗费时间的时间长度为上极限保持时间；

d3、使高低温试验箱内的测试温度保持在微加速度计的下工作极限温度，将微加速度计在下工作极限温度下保持时间t后，对微加速度计进行可靠性功能测试；

如微加速度计的功能无异常，则使微加速度计在下工作极限温度下继续保持时间增量Δt后，再次对微加速度计进行可靠性功能测试；

如微加速度计的功能出现异常，则以总累计时间扣减一次时间增量Δt和一次可靠性功能测试耗费时间的时间长度为下极限保持时间；

所述总累计时间为初始保持时间t、每次时间增量Δt、每次可靠性功能测试耗费时间的总和；

e、微加速度计于工作极限温度范围内温度变化率的强化测试步骤：

e1、设定初始温度变化率V_T＝10℃/min、温度变化率增量ΔV_T＝10℃；

e2、使高低温试验箱内的测试温度在1分钟内由上工作极限温度以初始温度变化率V_T向下工作极限温度变化(使温度骤升)，或由上工作极限温度以初始温度变化率V_T向下工作极限温度变化(使温度骤降)，对微加速度计进行可靠性功能测试；

如微加速度计的功能无异常，则按温度变化率增量ΔV_T提高温度变化率，重新由上工作极限温度或下工作极限温度开始进行1分钟降温或升温，对微加速度计进行可靠性功能测试；

如微加速度计的功能出现异常，则使高低温试验箱内的温度变化率设定为微加速度计功能出现异常前的测试温度变化率，重新由上工作极限温度或下工作极限温度开始进行1分钟降温或升温，对微加速度计进行可靠性功能测试；

如微加速度计的功能恢复，则将当前温度变化率定为工作极限温度变化率；

如微加速度计的功能无法恢复，则定与微加速度计功能出现异常时对应的温度变化率为破坏极限温度变化率，当前温度变化率为工作极限温度变化率；

2、微加速度计于温度、振动综合应力下的强化测试步骤：

g、根据待测微加速度计适用的加速度范围(该范围是生产厂家对微加速度计标定的加速度参数范围)，设定初始振动加速度a为加速度范围下限值、振动加速度变化率Δa＝5g、及随机振动频率范围f，20Hz≤f≤10kHz，设定增温起测温度、降温起测温度、温度变化量ΔT，且增温起测温度、降温起测温度与步骤1中的设定相同，ΔT＝5℃；

h、微加速度计于增温、变加速度状态下的强化测试步骤：

h1、将待测微加速度计置于高低温试验箱内，并按步骤g设定箱内温度、振动状态参数，使高低温试验箱内测试温度由增温起测温度开始，并对微加速度计施以初始振动加速度a，在测试温度稳定后，对箱内微加速度计进行可靠性功能测试；

如微加速度计的功能无异常，则按振动加速度变化率Δa提高振动加速度，并在振动加速度稳定后，再次进行可靠性功能测试；

如微加速度计的功能出现异常，则使高低温试验箱内对微加速度计施加的振动加速度恢复为微加速度计功能出现异常时的前一振动加速度，并在振动加速度稳定后，再次对微加速度计进行可靠性功能测试；

如微加速度计的功能恢复，则定当前振动加速度为与当前测试温度对应的工作极限振动加速度；

如微加速度计的功能无法恢复，则定与微加速度计功能出现异常时对应的振动加速度为破坏极限振动加速度，当前振动加速度为与当前测试温度对应的工作极限振动加速度，更换同批同规格待测微加速度计，继续进行后续强化测试；

h2、按温度变化量ΔT提高高低温试验箱内测试温度，并在温度稳定后，重新对微加速度计施以初始振动加速度a，对箱内微加速度计进行可靠性功能测试；重复步骤h1的测试过程，获得微加速度计于高低温试验箱内增温状态下各测试温度对应的工作极限振动加速度和破坏极限振动加速度，直至微加速度计在初始振动加速度a时功能也出现异常；

i、微加速度计于降温、变加速度状态下的强化测试步骤：与步骤h同理，

i1、将待测微加速度计置于高低温试验箱内，并按步骤g设定箱内温度、振动状态参数，使高低温试验箱内测试温度由降温起测温度开始，并对微加速度计施以初始振动加速度a，在测试温度稳定后，对箱内微加速度计进行可靠性功能测试；

如微加速度计的功能无异常，则按振动加速度变化率Δa提高振动加速度，并在振动加速度稳定后，再次进行可靠性功能测试；

如微加速度计的功能出现异常，则使高低温试验箱内对微加速度计施加的振动加速度恢复为微加速度计功能出现异常时的前一振动加速度，并在振动加速度稳定后，再次对微加速度计进行可靠性功能测试；

如微加速度计的功能恢复，则定当前振动加速度为与当前测试温度对应的工作极限振动加速度；

如微加速度计的功能无法恢复，则定与微加速度计功能出现异常时对应的振动加速度为破坏极限振动加速度，当前振动加速度为与当前测试温度对应的工作极限振动加速度，更换同批同规格待测微加速度计，继续进行后续强化测试；

i2、按温度变化量ΔT降低高低温试验箱内测试温度，并在温度稳定后，重新对微加速度计施以初始振动加速度a，对箱内微加速度计进行可靠性功能测试；重复步骤i1的测试过程，获得微加速度计于高低温试验箱内降温状态下各测试温度对应的工作极限振动加速度和破坏极限振动加速度，直至微加速度计在初始振动加速度a时功能也出现异常；

3、微加速度计于温度、振动、湿度综合应力下的强化测试步骤：

j、设定增温起测温度、降温起测温度、温度变化量ΔT且增温起测温度、降温起测温度与步骤1中的设定相同，ΔT＝5℃；设定初始振动加速度a、振动加速度变化率Δa、及随机振动频率范围f，初始振动加速度a、随机振动频率范围f与步骤2中的设定相同，Δa＝5g；设定起测湿度RH＝70％，湿度增量ΔRH＝10％；

k、微加速度计于增温、变振动加速度、湿度增加状态下的强化测试步骤：

k1、将待测微加速度计置于高低温试验箱内，并按步骤j设定箱内温度、振动、湿度状态参数，使高低温试验箱内测试温度由增温起测温度开始，对微加速度计施以初始振动加速度a，且使测试湿度由起测湿度开始，在测试温度和测试湿度稳定后，对箱内微加速度计进行可靠性功能测试；

如微加速度计的功能无异常，则按湿度增量ΔRH提高测试湿度，并在测试湿度稳定后，再次进行可靠性功能测试；

如微加速度计的功能出现异常，则使高低温试验箱内测试湿度恢复为微加速度计功能出现异常时的前一测试湿度，并在测试湿度稳定后，再次对微加速度计进行可靠性功能测试；

如微加速度计的功能恢复，则定当前测试湿度为与当前测试温度、振动加速度对应的工作极限测试湿度；

如微加速度计的功能无法恢复，则定与微加速度计功能出现异常时对应的测试湿度为破坏极限测试湿度，当前测试湿度为与当前测试温度、振动加速度对应的工作极限测试湿度，更换同批同规格待测微加速度计，继续进行后续强化测试；

k2、按振动加速度变化率Δa提高振动加速度，重新使高低温试验箱内测试湿度恢复为起测湿度RH，并在振动加速度、测试湿度稳定后，对箱内微加速度计进行可靠性功能测试；重复步骤k1的测试过程，获得当前测试温度下各振动加速度对应的工作极限测试湿度和破坏极限测试湿度，直至微加速度计在起测湿度RH状态下功能也出现异常；

k3、按温度变化量ΔT提高高低温试验箱内测试温度，重新对微加速度计施以初始振动加速度a，并使高低温试验箱内测试湿度恢复为起测湿度RH，在测试温度、振动加速度、测试湿度稳定后，对箱内微加速度计进行可靠性功能测试；重复步骤k1到k2的测试过程，获得微加速度计于高低温试验箱内增温过程中各测试温度与各振动加速度任意组合状态对应的工作极限测试湿度和破坏极限测试湿度，直至微加速度计在起测湿度RH状态下功能也出现异常；

l、微加速度计于降温、变振动加速度、湿度增加状态下的强化测试步骤：与步骤k同理，

l1、将待测微加速度计置于高低温试验箱内，并按步骤j设定箱内温度、振动、湿度状态参数，使高低温试验箱内测试温度由降温起测温度开始，对微加速度计施以初始振动加速度a，且使测试湿度由起测湿度开始，在测试温度和测试湿度稳定后，对箱内微加速度计进行可靠性功能测试；

如微加速度计的功能无异常，则按湿度增量ΔRH提高测试湿度，并在测试湿度稳定后，再次进行可靠性功能测试；

如微加速度计的功能出现异常，则使高低温试验箱内测试湿度恢复为微加速度计功能出现异常时的前一测试湿度，并在测试湿度稳定后，再次对微加速度计进行可靠性功能测试；

如微加速度计的功能恢复，则定当前测试湿度为与当前测试温度、振动加速度对应的工作极限测试湿度；

如微加速度计的功能无法恢复，则定与微加速度计功能出现异常时对应的测试湿度为破坏极限测试湿度，当前测试湿度为与当前测试温度、振动加速度对应的工作极限测试湿度，更换同批同规格待测微加速度计，继续进行后续强化测试；

l2、按振动加速度变化率Δa提高振动加速度，重新使高低温试验箱内测试湿度恢复为起测湿度RH，并在振动加速度、测试湿度稳定后，对箱内微加速度计进行可靠性功能测试；重复步骤l1的测试过程，获得当前测试温度下各振动加速度对应的工作极限测试湿度和破坏极限测试湿度，直至微加速度计在起测湿度RH状态下功能也出现异常；

l3、按温度变化量ΔT降低高低温试验箱内测试温度，重新对微加速度计施以初始振动加速度a，并使高低温试验箱内测试湿度恢复为起测湿度RH，在测试温度、振动加速度、测试湿度稳定后，对箱内微加速度计进行可靠性功能测试；重复步骤l1到l2的测试过程，获得微加速度计于高低温试验箱内降温过程中各测试温度与各振动加速度任意组合状态对应的工作极限测试湿度和破坏极限测试湿度，直至微加速度计在起测湿度RH状态下功能也出现异常。

具体实施时，本发明应用的高低温试验箱要具备本发明所述方法所需的温度调整、湿度调整、计时、能为微加速度计提供振动加速度、并实施可靠性功能测试等功能，由高低温箱、加湿器、激振器、为激振器提供激励信号的信号发生器、以及传感器性能测试平台共同构建，具体如何构建对于本技术领域的技术人员来说，很容易实现。