首页> 中国专利> 由增强抗辐射性的合成石英玻璃制备的光学部件及制备该部件的方法

由增强抗辐射性的合成石英玻璃制备的光学部件及制备该部件的方法

页面导航

摘要
著录项
法律信息
相似文献

摘要

提供用于投影物镜的石英玻璃光学部件，该投影物镜用于在低于250nm的操作波长下的浸没式光刻，将该部件优化，以便用于线性偏振的UV激光辐射，特别是关于由各向异性的密度变化引起的压实和双折射，按照本发明建议，石英玻璃应包含1wtppm－60wtppm的羟基和化学键合的氮，且石英玻璃的平均氢含量应该为5×10

著录项

公开/公告号CN101622204A

专利类型发明专利
公开/公告日2010-01-06

原文格式PDF
申请/专利权人赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司;
展开▼

申请/专利号CN200880006392.5
发明设计人 B·库恩;S·奥克斯;J·韦伯;
展开▼

申请日2008-02-20
分类号C03B19/14;
代理机构中国专利代理(香港)有限公司;
代理人李进
地址德国哈瑙
入库时间 2023-12-17 23:18:41

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2010-12-15

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C03B19/14 公开日:20100106 申请日:20080220

发明专利申请公布后的视为撤回
2010-01-06

公开

公开

相似文献

专利
中文文献
外文文献

1. 由增强抗辐射性的合成石英玻璃制备的光学部件及制备该部件的方法 [P] . 中国专利： CN101622204A . 2010-01-06
2. 由石英玻璃制成的、用于在ArF准分子激光光刻中使用的光学部件以及用于制造该部件的方法 [P] . 中国专利： CN104995145A . 2015-10-21
3. A method for producing an optical component of synthetic quartz glass with an increased resistance to radiation, as well as blank for the manufacture of the component [P] . 德国专利： DE102007019154A1 . 2008-10-23

机译：用于制造具有增强的抗辐射性的合成石英玻璃的光学部件的方法以及用于制造该部件的坯料
4. A method for producing an optical component of synthetic quartz glass with an increased resistance to radiation [P] . 德国专利： DE102007019154B4 . 2012-07-26

机译：一种具有增强的抗辐射性的合成石英玻璃的光学部件的制造方法
5. Method for producing an optical component of synthetic quartz glass with enhanced radiation resistance, and blank for producing the component [P] . 欧洲知识产权局专利： EP1982963B1 . 2017-03-15

机译：具有增强的耐辐射性的合成石英玻璃的光学部件的制造方法以及该部件的坯料