法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-11-06
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C30B29/06 申请公布日:20091209 申请日:20090603
发明专利申请公布后的视为撤回
2010-02-03
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-12-09
公开
公开
机译: 因此,<1的外延硅晶片。 110 -晶体取向及其制备方法
机译: 具有110取向的外延涂覆的硅晶片及其制造方法
机译: 具有110取向的外延涂覆的硅晶片及其制造方法