共享用于测试半导体器件的系统中的资源

摘要

多个DUT探针组中的探针可并联连接至单个测试仪信道。在一个方面中，数字电位器可用来将测试仪信道从一个DUT探针组中的探针有效地切换至另一DUT探针组中的探针。在另一个方面中，与电阻器并联的开关可实现这样的切换。在另一个方面中，可使用各个DUT上的片选端子来将内部DUT电路有效地连接至测试仪信道和从测试仪信道断开。可使用如此连接的多个DUT探针组来建立不同的DUT探针组图案，一般测试不同图案的DUT从而便于共享测试仪信道。