一种法布里－珀罗谐振腔共振发光悬臂梁系统

摘要

本发明公开了一种法布里－珀罗谐振腔共振发光悬臂梁系统，它主要由光电转换元件、基底、Fabry－Perot谐振腔固定反射镜、谐振腔内光源、样品室、Fabry－Perot谐振腔动反射镜、谐振腔外光源、激励用上压电陶瓷、硅微悬臂梁、激励用下压电陶瓷和探针组成。本发明的Fabry－Perot谐振腔共振发光悬臂梁系统能够主动发射振动调制的变化谐振频率光；可以检测待测样品光谱成分以及外界因素引起的悬臂梁挠曲、变形的能力。另外，还可应用于化学成分、分子生物样品传感、检测，超精密机械表面轮廓测量，物理谱成份分析等多种技术领域。