微机电系统的角度参数化宏建模方法

摘要

本发明公开了一种微机电系统的角度参数化宏建模方法，属于微机电系统设计与模型降阶领域。该方法首先从相同几何形状的微结构中任意选取一个作为参考微结构，采用数值降阶方法提取其宏模型；然后根据微结构方位之间的关系，采用矩阵坐标变换方法建立其它方位微结构相对参考微结构的力与位移之间的转换方程；最后，将力与位移之间的转换方程代入宏模型的行为方程中，实现MEMS的角度参数化宏建模。本发明采用矩阵坐标变换方法实现角度参数化的宏建模，通过设置相应的角度参数，即可避免结构完全相同，初始方位不同的MEMS微结构的重复宏建模过程，从而使基于宏模型的MEMS系统级建模与仿真速度加快，进而提高整个MEMS的设计效率。