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用集成到西门子型工艺中的流化床反应器生产硅

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摘要

使用流化床反应器和西门子反应器来生产多晶硅。该工艺包括将来自西门子反应器的排放气体作为进料气进料到所述流化床反应器中。

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2015-04-22

发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C01B33/035 申请公布日:20090923 申请日:20070614

发明专利申请公布后的驳回
2009-11-11

实质审查的生效

实质审查的生效
2009-09-23

公开

公开

1. 用集成到西门子型工艺中的流化床反应器生产硅 [P] . 中国专利： CN101541678A . 2009-09-23
2. 改良西门子法生产多晶硅工艺中除硼、磷的方法 [P] . 中国专利： CN101759186B . 2011.07.20
3. Silicon production with a fluidized bed reactor integrated into a siemens-type process [P] . 美国专利： US7935327B2 . 2011-05-03

机译：流化床反应器集成到西门子型工艺中的硅生产
4. Silicon production with a fluidized bed reactor integrated into a siemens-type process [P] . 美国专利： US2008056979A1 . 2008-03-06

机译：流化床反应器集成到西门子型工艺中的硅生产
5. Production of silicon by fluidized bed reactor integrated in Siemens type process [P] . 日本专利： JP5367573B2 . 2013-12-11

机译：通过流化床反应器集成在西门子式工艺中生产硅