基于干涉条纹形状的二维小角度测量装置

摘要

本发明公开了一种基于干涉条纹形状的二维小角度测量装置，属于精密测量技术领域。该装置包括激光器、分光镜、目标反射镜、参考反射镜和四象限接收器，目标反射镜固定在被测物体上。激光调制器对激光器发出的光束进行调制，被调制的光束经分光镜后分为两束，这两束光分别经目标反射镜和参考反射镜反射后再返回分光镜，会聚产生动态干涉条纹，当被测物体绕z轴有角度变化时，动态干涉条纹的宽度将发生变化，当被测物体绕x轴有角度变化时，动态干涉条纹的宽度和方向同时改变。动态干涉条纹用四象限光电接收器接收后转为电信号，该信号经电流－电压转换后采集到计算机中，通过分析条纹宽度和方向的变化量，计算出被测物体绕x轴、z轴的角度变化量。本装置的优点在于采用波长调制法，重复性好、抗干扰能力强，并且结构简单、体积小、精度高，精度可达0.03arcsec。