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用于在探针卡组件中提供有效顺应性的方法及装置

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摘要

探针卡组件可包括第一顺应性来源以及第二顺应性来源。探针卡组件可进一步包括控制器，其可配置成在第一顺应性来源与第二顺应性来源之间分配对探针卡组件的总的顺应性需求。

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2012-07-11

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01R31/02 公开日:20090916 申请日:20071031

发明专利申请公布后的视为撤回
2010-01-06

实质审查的生效

实质审查的生效
2009-09-16

公开

公开

1. 用于在探针卡组件中提供有效顺应性的方法及装置 [P] . 中国专利： CN101535822A . 2009-09-16
2. 探针卡组件以及使用于探针卡组件的中介装置 [P] . 中国专利： CN101576576A . 2009-11-11
3. Method and apparatus for providing active compliance in a probe card assembly [P] . 美国专利： US8513965B2 . 2013-08-20

机译：在探针卡组件中提供主动顺应性的方法和设备
4. Method and apparatus for providing active compliance in a probe card assembly [P] . 美国专利： US7825675B2 . 2010-11-02

机译：在探针卡组件中提供主动顺应性的方法和设备
5. Method And Apparatus For Providing Active Compliance In A Probe Card Assembly [P] . 美国专利： US2008100312A1 . 2008-05-01

机译：在探针卡组件中提供主动顺应性的方法和设备