在生物芯片或生物系统中使用的微致动器器件

摘要

本发明涉及在生物芯片或生物系统中使用的微致动器器件。为了实现用作生物传感器或生物系统或者至少生物芯片中的微泵、并且通过它可非常精确有效地操纵致动的微致动器器件，解决方案是该微致动器包括光敏致动器元件(1)，该光敏致动器元件(1)可通过光源(3，4，L1，L2)的光子激活而从逆基本形状变形为激活变形形状，以便利用此受控运动来产生气体或液体中的已定义流。