具有通过带有相合熔融化合物的颗粒的固相粘结调节的组成的硫属元素化物PVD靶

摘要

硫属元素化物PVD部件包括第一固体和第二固体的颗粒的粘结混合物。第一固体含有第一化合物。所述颗粒混合物可以表现出比第一化合物中的元素的固相转变温度高的最小固相转变温度。所述颗粒混合物可以表现出比第一化合物中的元素的固相转变温度低的最大固相转变温度。第一化合物可以是相合熔融的(congruently melting)线性化合物。该粘结的混合物可能缺乏熔融区域或升华间隙。所述颗粒混合物可以表现出包括三种或更多元素的整体式(bulk formula)。所述颗粒混合物可以包括两种或更多线性化合物。