法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2011-01-19
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G03B21/14 公开日:20090805 申请日:20090313
发明专利申请公布后的视为撤回
2009-09-30
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-08-05
公开
公开
机译: 用于彩色图像投影设备和圆偏振器的照明系统适合用于这种照明系统和包含这种具有圆偏振器的照明系统的彩色图像投影设备。
机译: 用于EUV投影曝光设备的照明系统,包括该照明系统的EUV投影曝光设备和用于操作EUV投影曝光设备的方法
机译: 用于EUV投影曝光设备的照明系统,具有照明系统的EUV投影曝光设备和用于操作EUV投影曝光设备的方法