制备非晶硅薄膜的连续式等离子体增强化学气相淀积反应室

摘要

一种制备非晶硅薄膜的连续式等离子体增强化学气相淀积反应室，包括一个由底板和装在该底板上的反应罩组成的圆筒形大反应室，所述大反应室中设有一个入片室和三个结构相同的圆形小反应室，该三个圆形小反应室的轴心线均与大反应室的轴心线平行，且同一水平截面上所述三个圆形小反应室和入片室的圆心到大反应室圆心的距离均相等，该三个圆形小反应室和入片室的圆心分布在所述截面的同一圆周上。它可满足薄膜电池P、I、N层沉积，其结构较简单，适合用于做薄膜电池研制，并能满足小尺寸电池片的生产。