包含硅氧烷聚合物的抗反射涂料组合物

摘要

本发明涉及包含成酸剂和新型硅氧烷聚合物的用于形成光刻胶底层的新型抗反射涂料组合物，其中该硅氧烷聚合物包含至少一个吸光性生色团和至少一个结构(1)的自交联官能团，其中m为0或1，W和W′独立地为将环醚连接到聚合物的硅上的价键或连接基团，和L选自氢、W′和W或者L和W′结合以构成将环醚连接到聚合物的硅上的脂环族连接基团。本发明还涉及将涂在该新型抗反射涂料组合物上的光刻胶成像的方法并提供良好的光刻结果。本发明进一步涉及新型硅氧烷聚合物，其中该硅氧烷聚合物包含至少一个吸光性生色团和至少一个结构(1)的自交联官能团。