交流电压驱动的强森－罗贝克静电卡盘

摘要

一种静电卡盘包括具有至少一区域的介电层、与至少一区域相关联的电极以及经组态成向电极提供交流电压信号的交流电源。介电层的介电特性经组态成在将交流电压信号施加至电极时允许在介电层周围发生电荷迁移来产生静电力以将工件吸引至介电层。