一种精确测量离子束束斑宽度的检测系统及方法

摘要

本发明公开了一种精确测量离子束束斑宽度的装置和方法，涉及离子注入机，属于半导体集成电路器件制造领域。该装置包括移动法拉第杯、剂量采样法拉第杯、剂量检测器、数控扫描发生器、电机运动控制器、控制计算机。由计算机协调各部分动作并进行控制。测量方法包括移动法拉第杯沿水平方向穿过靶室；在移动法拉第杯停顿的每个位置点，对离子束流进行采样；采样信号经剂量检测器进行放大和模数转换后送给控制计算机存储；控制计算机同时记录对应的移动法拉第杯位置编码；在移动法拉第杯水平穿过整个靶室后，控制计算机根据得到的位置和束流数据计算出离子束斑的宽度值，计算公式为：W＝p2－p1，p1－移动法拉第杯第一次采样到半束流的位置值；p2－移动法拉第杯第二次采样到半束流的位置值。本发明能够自动实现离子束斑宽度的精确测量，精度达7μm。