公开/公告号CN101421829A
专利类型发明专利
公开/公告日2009-04-29
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN200780013193.2
申请日2007-04-07
分类号H01L21/311;
代理机构北京东方亿思知识产权代理有限责任公司;
代理人赵飞
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-12-17 21:53:28
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2011-04-13
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/311 公开日:20090429 申请日:20070407
发明专利申请公布后的视为撤回
2009-06-24
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-04-29
公开
公开
机译: 等离子电介质蚀刻工艺,包括用于低介电常数材料的非原位背面聚合物去除
机译: 等离子电介质蚀刻工艺,包括用于低介电常数材料的原位背面聚合物去除
机译: 等离子电介质蚀刻工艺,包括用于低介电常数材料的原位背面聚合物去除