氮化铬、氮化钛铝硬质多层纳米膜涂层

摘要

本发明提供一种氮化铬、氮化钛铝硬质多层纳米膜涂层，是由多层纳米膜组合而成的涂层，涂层成分包括氮化铬及氮化钛铝，单层纳米膜的厚度为10～200纳米，涂层厚度为1～7微米，单层纳米膜是氮化铬纳米膜、氮化铬－氮化钛铝混合物纳米膜及氮化钛铝纳米膜。涂层由氮化铬纳米膜与氮化钛铝纳米膜交替组合而成，或由氮化铬纳米膜、氮化铬－氮化钛铝混合物纳米膜、氮化钛铝纳米膜交替组合而成。其中氮化铬、氮化钛铝的粒度小于10纳米。涂层硬度高，摩擦系数小，韧性好，主要用于工具及机械零件表面。