公开/公告号CN101416295A
专利类型发明专利
公开/公告日2009-04-22
原文格式PDF
申请/专利权人 电子线技术院株式会社;
申请/专利号CN200780011762.X
发明设计人 金浩燮;
申请日2007-04-03
分类号H01L21/66;
代理机构北京三友知识产权代理有限公司;
代理人黄纶伟
地址 韩国忠清南道
入库时间 2023-12-17 21:49:12
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-12-02
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L21/66 申请公布日:20090422 申请日:20070403
发明专利申请公布后的驳回
2009-06-17
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-04-22
公开
公开
机译: 用于更精确地获取关于孔的数据的孔检查装置以及使用该孔检查装置的孔检查方法
机译: 孔检查装置及使用该孔检查装置的孔检查方法
机译: 孔检查装置及使用该孔检查装置的孔检查方法