公开/公告号CN101414118A
专利类型发明专利
公开/公告日2009-04-22
原文格式PDF
申请/专利权人 信越化学工业株式会社;
申请/专利号CN200810149932.7
申请日2008-10-17
分类号G03F1/14(20060101);
代理机构11105 北京市柳沈律师事务所;
代理人陶凤波
地址 日本东京都
入库时间 2023-12-17 21:44:58
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-04-03
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G03F1/14 申请公布日:20090422 申请日:20081017
发明专利申请公布后的驳回
2009-06-17
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-04-22
公开
公开
机译: 防护薄膜组件的支撑框架的制造方法,防护薄膜组件的支撑框架以及防护薄膜组件
机译: 防护薄膜组件框架,防护薄膜组件的制造方法以及防护薄膜组件框架
机译: 防护薄膜组件的制造方法以及具有该防护薄膜组件的光掩模的制造方法