径向分级微型涡轮分子泵

摘要

本发明涉及径向分级微型涡轮分子泵。一种径向涡轮分子真空泵，包括转子和定子，该转子由具有整体制造的微型叶片的硅转子表面制成，该定子由具有相应的整体制造槽的硅定子表面制成。该微型叶片和槽以多重环布置，并且该转子和定子盘相邻布置，以产生交叉的定子和转子叶片环。该交叉的定子和转子叶片环形成在径向上的多级压缩。