用于形成半导体器件中的层间绝缘膜的方法

摘要

一种用于形成层间绝缘膜的方法包括：设置半导体衬底，该半导体衬底具有包括多个金属布线的第一衬底区域和没有金属布线的第二衬底区域，以及然后在第二衬底区域中形成绝缘膜虚拟图样，其中绝缘膜虚拟图样具有与金属布线相同的厚度，以及然后在包括绝缘膜虚拟图样的半导体衬底上方形成层间绝缘膜。