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一种用于电磁双棱镜偏转电子束的细丝及其制作方法

摘要

本发明提供一种用于电磁双棱镜的偏转电子束的细丝及其制作方法。该细丝的本体可以是导电的纳米线材,或绝缘的纳米线材,并在绝缘的纳米线材的表面涂敷一层金属涂层,即复合导电丝,其中金属涂层的厚度为5nm~100nm;所述的纳米线材的直径为20nm~1μm,长度大于转换环直径。

著录项

  • 公开/公告号CN101377994A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2009-03-04

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院物理研究所;

    申请/专利号CN200710121231.8

  • 发明设计人 车仁超;杨新安;段晓峰;李建奇;

    申请日2007-08-31

  • 分类号H01J37/147;H01B5/00;H01J37/28;B82B1/00;B82B3/00;H01J9/00;H01B13/00;

  • 代理机构北京泛华伟业知识产权代理有限公司;

  • 代理人高存秀

  • 地址 100080 北京市海淀区中关村南三街8号

  • 入库时间 2023-12-17 21:32:13

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2011-01-19

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01J37/147 公开日:20090304 申请日:20070831

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2009-04-29

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2009-03-04

    公开

    公开

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