具有减小横截面尺寸和/或减小光轴畸变的波导激光器

摘要

本发明提供具有减小横截面尺寸和/或减小光轴畸变的波导激光器。本发明某示例性实施例提供了组合波导盖及非耦合顶电极、和/或包括多个(例如，两个或更多)室的热载平衡真空容器。在某示例性实施例中，RF能量可以没有明显的穿过绝缘载体材料，而经由一个或多个顶电极(或着甚至是底电极)RF耦合区形成的间隙或切口，通过组合波导盖及非耦合顶电极耦合。在某示例性实施例中，可以布置真空容器的第一室和第二室使得放电区生成的热量从第一室和第二室流出，从而减少激光运行过程中光学元件的热致变形。这些技术可以单独使用或以各种方式组合使用。