公开/公告号CN101344650A
专利类型发明专利
公开/公告日2009-01-14
原文格式PDF
申请/专利权人 上海天马微电子有限公司;
申请/专利号CN200710043664.6
申请日2007-07-11
分类号G02F1/13;H01L21/66;
代理机构
代理人
地址 201201 上海市浦东新区汇庆路889号
入库时间 2023-12-17 21:19:23
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-06-20
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G02F1/13 公开日:20090114 申请日:20070711
发明专利申请公布后的视为撤回
2009-06-24
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-01-14
公开
公开
机译: 测试精度和控制简化的基板测试装置以及使用该基板测试装置的基板测试方法
机译: 用于液晶显示制造或半导体电路制造中的光刻后的基板测试的基板测试系统,基板测试方法和基板测试装置
机译: 用于LCD的基板测试装置和使用该基板测试装置的基板测试方法