公开/公告号CN101349862A
专利类型发明专利
公开/公告日2009-01-21
原文格式PDF
申请/专利权人 上海宏力半导体制造有限公司;
申请/专利号CN200810041891.X
发明设计人 朱亮;
申请日2008-08-19
分类号G03F1/14(20060101);G03F7/20(20060101);
代理机构上海思微知识产权代理事务所;
代理人屈蘅
地址 201203 上海市张江高科技圆区郭守敬路818号
入库时间 2023-12-17 21:19:23
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-07-09
专利权的转移 IPC(主分类):G03F1/36 变更前: 变更后: 登记生效日:20140612 申请日:20080819
专利申请权、专利权的转移
2012-08-08
授权
授权
2011-04-27
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F1/14 申请日:20080819
实质审查的生效
2009-01-21
公开
公开
机译: 成像装置对光学系统的实际空间长度测量方法和校准方法,以及用于光学系统校准的参考量规
机译: 通过成像装置测量实际空间长度的方法,光学系统的校准方法以及用于光学系统校准的参考量规
机译: 通过图像拾取装置测量实际空间长度的方法,光学系统的校准方法以及用于光学系统校准的参考量规