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防护薄膜组件的制造方法及防护薄膜组件

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摘要

本发明公开了防护薄膜组件的制造方法及防护薄膜组件。本发明的防护薄膜组件的制造方法，是以氟树脂构成防护薄膜，并将防护薄膜从形成该薄膜的基板剥离后再加热。加热温度宜未达防护薄膜的玻璃转变点温度为佳。此外，本发明的防护薄膜组件，其防护薄膜抗拉强度在390kgf/cm

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2011-06-15

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G03F1/14 公开日:20081008 申请日:20080325

发明专利申请公布后的视为撤回
2008-12-03

实质审查的生效

实质审查的生效
2008-10-08

公开

公开

1. 防护薄膜组件及防护薄膜组件之制造方法 [P] . 中国专利： CN101414118A . 2009-04-22
2. 防护薄膜组件、收纳防护薄膜组件的收纳容器及收纳方法 [P] . 中国专利： CN101441405B . 2011.04.13
3. Method for manufacturing support frame for pellicle, support frame for pellicle, and pellicle [P] . 美国专利： US9599889B2 . 2017-03-21

机译：防护薄膜组件的支撑框架的制造方法，防护薄膜组件的支撑框架以及防护薄膜组件
4. pellicle frame, method of manufacturing a pellicle and pellicle frame [P] . 日本专利： JP5767535B2 . 2015-08-19

机译：防护薄膜组件框架，防护薄膜组件的制造方法以及防护薄膜组件框架
5. Method for manufacturing pellicle and method for manufacturing photomask with pellicle [P] . 日本专利： JP6371904B2 . 2018-08-08

机译：防护薄膜组件的制造方法以及具有该防护薄膜组件的光掩模的制造方法