一种CMP过程中晶圆下液体薄膜中间变量的测量方法

摘要

一种CMP过程中晶圆下液体薄膜中间变量的测量方法，包括以下步骤：(1)、在抛光液中加入荧光物质，并将抛光液输送到抛光机的抛光垫和晶圆之间，形成液体薄膜；(2)、开启激光器照射所述液体薄膜，所述液体薄膜受到激发后产生荧光；(3)、液体薄膜发出的荧光通过滤光片传送到摄像头进行荧光信息的采集；(4)、将摄像头采集的荧光图像进行图片处理，计算得到荧光强度，依照荧光强度与厚度的对应关系得到液体薄膜的厚度；依照荧光强度与温度的对应曲线得到液体薄膜的温度；依照荧光强度与pH值的对应曲线得到液体薄膜的pH值。本发明能够对CMP过程中晶圆下中间变量(如厚度、温度、pH值)进行有效测量。