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制备化学计量比铌酸锂或钽酸锂晶片的方法

摘要

一种制备化学计量比铌酸锂或钽酸锂晶片的方法。该方法可以制备化学计量比铌酸锂或钽酸锂晶片。其具体过程是,将铌酸锂或钽酸锂晶片和含锂化合物放置在密闭容器中,将密闭容器内部抽真空,使真空度小于0.5帕,并将容器内部保持一定的高温,用高纯氩气调节内部气氛中各种组分的分压,以防止晶片表面出现龟裂。经过长60小时~120小时的处理,获得化学计量比铌酸锂或钽酸锂晶片。本发明与传统VTE方法(申请专利号:01144332.4)比较,用含锂化合物代替多晶料,第一可以反复使用,大大降低成本;第二可以提高气氛中的锂含量,从而提高扩散速度,减少扩散时间;第三可以通过氩气来调节气氛中的锂含量,从而可以使用不同蒸气压的含锂化合物。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2010-07-21

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C30B29/30 公开日:20081001 申请日:20071221

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2008-11-26

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2008-10-01

    公开

    公开

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