法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-11-21
授权
授权
2011-03-30
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/033 申请日:20090303
实质审查的生效
2011-02-16
公开
公开
机译: 具有顶部界面的嵌段共聚物薄膜的热退火受制于湿润两个相同优先权的嵌段
机译: 具有顶部界面的嵌段共聚物薄膜的热退火受制于湿润两个相同优先权的嵌段
机译: 为了以相同的方式湿润地进行嵌段共聚物的加热,并且对具有限制表面的上表面的嵌段共聚物膜进行热退火。