具有改进气体分布的碎片抑制系统

摘要

本发明涉及一种碎片抑制系统，尤其是用在用于EUV辐射和/或X射线的辐射单元中的系统。该碎片抑制系统包括一种箔捕获装置(11)，所述箔捕获装置(11)具有多个允许直路辐射的通道，以及一个或几个用于缓冲气体(7)的气体供应的进给管道(5)，所述气体供应提供给所述箔捕获装置。该箔捕获装置具有至少一个延伸分布几个所述通道的内部空间(14)，其中所述进给管道向该空间开口。本碎片抑制系统能有效地抑制碎片。