公开/公告号CN101222813A
专利类型发明专利
公开/公告日2008-07-16
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料股份有限公司;
申请/专利号CN200710301836.5
申请日2007-12-18
分类号H05H1/10;H01L21/00;
代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-12-17 20:28:06
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-09-12
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H05H1/10 申请公布日:20080716 申请日:20071218
发明专利申请公布后的视为撤回
2012-02-15
著录事项变更 IPC(主分类):H05H1/10 变更前: 变更后: 申请日:20071218
著录事项变更
2008-09-10
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-07-16
公开
公开
机译: 在磁场增强的等离子体反应器中成形磁场的方法和装置
机译: 在磁场增强的等离子体反应器中成形磁场的方法
机译: 在磁场增强的等离子体反应器中成形磁场的方法和装置