防止水汽和可动离子进入内部电路的方法及相应压焊窗口

摘要

本发明公开了一种于集成电路制造工艺中防止水汽和可动离子进入内部电路的方法和相应压焊窗口。该方法包括：在打开压焊窗口以后，淀积一钝化层；保留该压焊窗口侧壁上的钝化层，去除其余钝化层，而于压焊窗口侧壁形成钝化边墙。在此钝化边墙的保护下，水汽和可动离子很难进入内部电路而对其产生侵蚀，从而减少了外部环境对内部电路的侵蚀以及对器件参数漂移的影响。