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用于MEMS电容式麦克风的改进膜片

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摘要

公开了一种用于麦克风(1)的膜片(2)，包括：第一部分(A1)、第二部分(A2)和连接所述第一部分(A1)和所述第二部分(A2)的元件(E1…E4，E1’…E4’)。第二部分(A2)设置成在空闲位置附近相对于所述第一部分(A1)移动，所述移动至少包括沿与所述膜片(2)垂直的移动方向(dm)的平移分量。所述元件(E1…E4，E1’…E4’)配置成限定在所述空闲位置附近的所述移动的弹簧常数，并且配置成实质上沿所述第二部分(A2)的外边界设置。

著录项

  • 公开/公告号CN101180917A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2008-05-14

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 NXP股份有限公司;

    申请/专利号CN200680017335.8

  • 发明设计人 约瑟夫·卢茨;

    申请日2006-04-25

  • 分类号H04R19/00(20060101);

  • 代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;

  • 代理人朱进桂

  • 地址 荷兰艾恩德霍芬

  • 入库时间 2023-12-17 20:11:07

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2013-06-12

    发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H04R19/00 申请公布日:20080514 申请日:20060425

    发明专利申请公布后的驳回

  • 2012-04-18

    专利申请权的转移 IPC(主分类):H04R19/00 变更前: 变更后: 登记生效日:20120309 申请日:20060425

    专利申请权、专利权的转移

  • 2008-07-16

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2008-05-14

    公开

    公开

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