光致抗蚀剂用聚合性化合物、其聚合物以及含有该聚合物的光致抗蚀剂组合物

摘要

本发明提供由通式(1)或(19)所示的具有脂环式结构和聚合性基团的聚合性化合物、其聚合物和该聚合性化合物的制备方法以及含有该聚合物的光致抗蚀剂组合物，所述聚合性化合物显示高的基板粘合性、显影时的膨胀降低、且在水中曝光时的吸水量低、抗干蚀性高。