公开/公告号CN101174101A
专利类型发明专利
公开/公告日2008-05-07
原文格式PDF
申请/专利权人 台湾积体电路制造股份有限公司;
申请/专利号CN200710153191.5
申请日2007-09-28
分类号G03F7/20;H01L21/027;
代理机构隆天国际知识产权代理有限公司;
代理人潘培坤
地址 中国台湾新竹市
入库时间 2023-12-17 20:06:53
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2011-05-04
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G03F7/20 公开日:20080507 申请日:20070928
发明专利申请公布后的视为撤回
2008-07-02
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-05-07
公开
公开
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