法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-08-01
专利权的转移 IPC(主分类):B24D18/00 登记生效日:20170713 变更前: 变更后: 申请日:20060221
专利申请权、专利权的转移
2011-09-07
授权
授权
2008-06-18
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-04-23
公开
公开
机译: 用于微电子器件衬底组件的机械或化学机械平面化的抛光垫和平坦化机,以及制造和使用这种垫和机器的方法
机译: 用于微电子器件衬底组件的机械或化学机械平面化的抛光垫和平坦化机,以及制造和使用这种垫和机器的方法
机译: 用于微电子器件衬底组件的机械或化学机械平面化的抛光垫和平坦化机,以及制造和使用这种垫和机器的方法