用于测量绘图位置的方法和装置以及绘制图像的方法和装置

摘要

本发明公开了一种绘图位置测量方法，其中绘图点位置，在绘图表面和调制入射光与在绘图表面形成绘图点的曝光头相对彼此移动并且在相对移动过程中曝光头在绘图表面顺序形成绘图点以形成图像时，采用形成在绘图表面的检测狭缝被测量。在该方法中，相对移动过程中曝光头和检测狭缝之间的相对位置偏离被测量，采用检测狭缝测得的绘图点位置基于测得的位置偏离被校正。