法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2011-07-06
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01N21/33 公开日:20080220 申请日:20071012
发明专利申请公布后的视为撤回
2008-02-20
公开
公开
机译: 光谱纯度滤光片和配有光谱纯度滤光片的极紫外光产生装置
机译: 用于微光刻成像的极紫外投影照明系统,具有可拆卸地设置在光谱孔径和/或孔径光阑中的光谱滤光片,并且对于极端紫外线辐射而言是透明的
机译: 发出极紫外光谱的连续光谱的光源