公开/公告号CN101064238A
专利类型发明专利
公开/公告日2007-10-31
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申请/专利权人 应用材料股份有限公司;
申请/专利号CN200710098396.8
申请日2007-04-24
分类号H01L21/00(20060101);H01L21/67(20060101);H01L21/3065(20060101);H01J37/32(20060101);H01J37/00(20060101);H01J9/00(20060101);H05H1/02(20060101);C23F4/00(20060101);
代理机构11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国;梁挥
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-12-17 19:24:25
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-06-12
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L21/00 授权公告日:20110126 终止日期:20120424 申请日:20070424
专利权的终止
2012-02-15
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L21/00 变更前: 变更后: 申请日:20070424
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2011-01-26
授权
授权
2009-06-17
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-10-31
公开
公开
机译: 具有独立的电容和环形等离子体源的等离子体反应器设备
机译: 具有环形等离子体源和可变频率的VHF电容耦合等离子体源的等离子体反应器设备
机译: 具有独立的电容性和电感性等离子体源的等离子体反应器设备