法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2010-07-14
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H04B10/00 公开日:20071017 申请日:20060410
发明专利申请公布后的视为撤回
2007-12-12
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-10-17
公开
公开
机译: 具有用于保护膜表面的层的光掩模原模板及其制备方法,以及用于光掩模原模板的形成保护层的液体
机译: 具有膜表面保护层的光掩模原板,其制造方法以及用于光掩模原板的保护层形成液
机译: 具有用于保护膜表面的光掩模原形的层以及用于制备用于光掩模原形的相同和保护性层形成液的方法